Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов: [Для вузов по специальности «Технология спец. материалов электронной техники»]

Сохранено в:
Шифр документа: АН822915, АУ467743,
Вид документа: Книги
Автор: Беляев, А. И.
Опубликовано: М. : Металлургия , 1973
Физические характеристики: 223 с. : черт. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr37244520000
005 20070830144329.0
010 # # $b В пер.  $d 80 к. 
021 # # $a RU  $b [73-89710] 
100 # # $a 20070830d1973 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов  $e [Для вузов по специальности «Технология спец. материалов электронной техники»] 
210 # # $a М.  $c Металлургия  $d 1973 
215 # # $a 223 с.  $c черт.  $d 22 см 
300 # # $a Список лит.: с. 220-223 
345 # # $9 5500 экз. 
610 0 # $a Металлы химически чистые - Получение - Физико-химические основы - Учебники и пособия 
610 0 # $a Полупроводники - Очистка - Физико-химические основы - Учебники и пособия 
675 # # $a 669.054.2+621.315.592.002](075.8) 
700 # 1 $a Беляев  $b А. И.  $g Анатолий Иванович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo