Разработка и исследование многокоординатного электропривода с программным управлением для прецизионного сборочного оборудования в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.09.03)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Белявский, Е. И. |
Опубликовано: | М. , 1981 |
Физические характеристики: |
20 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr37239750000 | ||
005 | 20070830144329.0 | ||
100 | # | # | $a 20070830d1981 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Разработка и исследование многокоординатного электропривода с программным управлением для прецизионного сборочного оборудования в микроэлектронике $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.09.03) |
210 | # | # | $a М. $d 1981 |
215 | # | # | $a 20 с. |
300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. энерг. ин-т. Билиогр.: с. 19-20 (7 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.09.03 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Белявский $b Е. И. $g Евгений Иванович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070830 $g psbo |