|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr37172320000 |
| 005 |
20170201175639.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 5 р.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070830d1991 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
$f И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c Политехника
$d 1991
|
| 215 |
# |
# |
$a 288 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 283-286 (77 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 2000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Гидромеханика
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектр. схемы, интегральные
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002]:532
|
| 700 |
# |
1 |
$a Белов
$b И. А.
$g Игорь Александрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070830
$g psbo
|
