Исследование окисления кремния в связи с защитой полупроводниковых приборов: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Одесский технолог. ин-т им. М. В. Ломоносова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Белицкая, С. Г. |
| Опубликовано: | Одесса , 1967 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr37150940000 | ||
| 005 | 20070830145512.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070830d1967 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование окисления кремния в связи с защитой полупроводниковых приборов $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук $f Одесский технолог. ин-т им. М. В. Ломоносова |
| 210 | # | # | $a Одесса $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Для служебного пользования |
| 700 | # | 1 | $a Белицкая $b С. Г. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070830 $g psbo |