Свойства пленок SiO₂, осажденных в высокочастотном газовом разряде на кремнии: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: 19605/86,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Бекерис, Ю. Я.
Опубликовано: Вильнюс , 1985
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr37103110000
005 20150401160131.0
021 # # $a RU  $b [85-27774а] 
100 # # $a 20070830d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a LT 
200 1 # $a Свойства пленок SiO₂, осажденных в высокочастотном газовом разряде на кремнии  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a Вильнюс  $d 1985 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a В надзаг.: Вильн. гос. ун-т им. В. Капсукаса. Библиогр.: с. 16 (7 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Бекерис  $b Ю. Я.  $g Юрис Янович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070830  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-rr37103110000&fileID=1300453