Физико-статистическое исследование, оптимизация и управление технологическим процессом производства совмещенных микросхем: (05.13.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Барков, А. П. |
| Опубликовано: | Л. , 1976 |
| Физические характеристики: |
17 с. : схем.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36889990000 | ||
| 005 | 20070828152135.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [76-3007а] |
| 100 | # | # | $a 20070828d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Физико-статистическое исследование, оптимизация и управление технологическим процессом производства совмещенных микросхем $e (05.13.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 17 с. $c схем. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 16-17 (8 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Барков $b А. П. $g Анатолий Павлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070828 $g psbo |