Разработка основ интегральной технологии и оборудования для изготовления кремниевых структур методом движущегося растворителя: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ457523СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Балюк, А. В.
Опубликовано: Таганрог , 1983
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
АЯ457523СК ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:63 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал