Структура и электрофизические свойства материалов микроэлектронной аппаратуры: Учеб. пособие

Сохранено в:
Шифр документа: 53746,
Вид документа: Книги
Автор: Балашов, Ю. С.
Опубликовано: Воронеж : ВПИ , 1984
Физические характеристики: 83 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr36769410000
005 20150128125647.0
010 # # $d 15 к. 
021 # # $a RU  $b [84-96426] 
100 # # $a 20070828d1984 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Структура и электрофизические свойства материалов микроэлектронной аппаратуры  $e Учеб. пособие 
210 # # $a Воронеж  $c ВПИ  $d 1984 
215 # # $a 83 с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a В надзаг.: Воронеж. политехн. ин-т 
345 # # $9 280 экз. 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы - Материалы 
675 # # $a 621.382.049.77.002.3:53(075.8) 
700 # 1 $a Балашов  $b Ю. С.  $g Юрий Степанович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070828  $g psbo