|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36697120000 |
| 005 |
20070828142049.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 16 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [82-74101]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070828d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы проектирования оборудования электронной промышленности
$e Терм. оборуд. [Учеб. пособие]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭМ
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 86 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения, Каф. оборуд. и технологии полупроводникового пр-ва. Библиогр.: с. 84 (5 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электронная промышленность, предприятия - Оборудование
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.38.002.5.001.63(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Байкальцев
$b Б. П.
$g Борис Петрович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070828
$g psbo
|
