|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr36588470000 |
| 005 |
20161103133233.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 40 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [86-57778]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070827d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тонкопленочная интегральная технология в приборостроении
$e Учеб. пособие
$f М-во приборостроения, средств автоматизации и систем управления, Моск. ин-т повышения квалификации руководящих работников и специалистов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c [Б. и.]
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 107 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 102-105 (48 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектрониые схемы интегральные гибридные - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение
|
| 675 |
# |
# |
$a 681.2:621.382.049.77.21(075.9)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Бабаян
$b Р. Р.
$g Роберт Рубенович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070827
$g psbo
|
