Исследование автоматизированного оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме с целью повышения его производительности и надежности: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ашинов, С. А. |
| Опубликовано: | М. , 1982 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36554990000 | ||
| 005 | 20070827165834.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070827d1982 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование автоматизированного оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме с целью повышения его производительности и надежности $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.02.07) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1982 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: МВТУ им. Н. Э. Баумана. Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.02.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ашинов $b С. А. $g Сергей Ауесович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070827 $g psbo |