Диффузионно-сегрегационное перераспределение легирующих примесей в системе диоксид кремния-кремний применительно к технологии интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Афонин, Н. Н. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1988 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||