Выращивание монокристаллических пленок для квантовой электроники: Учеб. пособие по курсу "Технология пр-ва полупроводниковых материалов" / П. А. Арсеньев, Х. С. Багдасаров, В. В. Фенин

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ419327, М178632,
Вид документа: Книги
Автор: Арсеньев, П. А.
Опубликовано: М. , 1981
Физические характеристики: 68 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr36340830000
005 20200923111645.0
010 # # $d 13 к. 
021 # # $a RU  $b [82-6213] 
100 # # $a 20070810d1981 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Выращивание монокристаллических пленок для квантовой электроники  $e Учеб. пособие по курсу "Технология пр-ва полупроводниковых материалов"  $f П. А. Арсеньев, Х. С. Багдасаров, В. В. Фенин  $g Ред. В. С. Крикоров 
210 # # $a М.  $d 1981 
215 # # $a 68 с. 
300 # # $a В надзаг.: Моск. энерг. ин-т. Библиогр.: с. 66-67 (24 назв.) 
345 # # $9 200 экз. 
610 0 # $a Пленки тонкие 
675 # # $a 539.216.2+621.592-416](075.8) 
700 # 1 $a Арсеньев  $b П. А.  $g Павел Александрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070810  $g psbo