Восстановление распределения имплантированных атомов по спектрам обратного рассеяния ионов / Ю. П. Антуфьев, Б. В. Ганн, А. И. Жуков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Антуфьев, Ю. П. |
| Опубликовано: | Харьков , 1979 |
| Физические характеристики: |
9 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Харьк. физ.-техн. ин-т АН УССР
ХФТИ 79-4 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||