Восстановление распределения имплантированных атомов по спектрам обратного рассеяния ионов / Ю. П. Антуфьев, Б. В. Ганн, А. И. Жуков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Антуфьев, Ю. П. |
| Опубликовано: | Харьков , 1979 |
| Физические характеристики: |
9 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Харьк. физ.-техн. ин-т АН УССР
ХФТИ 79-4 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36246200000 | ||
| 005 | 20070810174208.0 | ||
| 010 | # | # | $d 10 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [79-27829] |
| 100 | # | # | $a 20070810d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Восстановление распределения имплантированных атомов по спектрам обратного рассеяния ионов $f Ю. П. Антуфьев, Б. В. Ганн, А. И. Жуков |
| 210 | # | # | $a Харьков $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 9 с. $c черт. |
| 225 | 2 | # | $a Харьк. физ.-техн. ин-т АН УССР $v ХФТИ 79-4 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 9 (6 назв.) |
| 345 | # | # | $9 170 экз. |
| 675 | # | # | $a 621.039.325 |
| 700 | # | 1 | $a Антуфьев $b Ю. П. $g Юрий Павлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070810 $g psbo |