Кинетика и механизм термического окисления кремния
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Анохин, В. З. |
Опубликовано: | Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та , 1983 |
Физические характеристики: |
195 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|