Кинетика и механизм термического окисления кремния

Сохранено в:
Шифр документа: АУ635332, М226124,
Вид документа: Книги
Автор: Анохин, В. З.
Опубликовано: Воронеж : Изд-во Воронеж. ун-та , 1983
Физические характеристики: 195 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr36199030000
005 20070808162251.0
010 # # $d 1 р. 80 к. 
021 # # $a RU  $b [83-22331] 
100 # # $a 20070808d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Кинетика и механизм термического окисления кремния 
210 # # $a Воронеж  $c Изд-во Воронеж. ун-та  $d 1983 
215 # # $a 195 с.  $c ил.  $d 21 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 185-193 (158 назв.) 
345 # # $9 500 экз. 
610 0 # $a Кремний - Окисление - Механизм 
675 # # $a 546.28.04 
700 # 1 $a Анохин  $b В. З.  $g Валентин Захарович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070808  $g psbo