Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Андреев, А. Ю. |
Опубликовано: | Горький , 1990 |
Физические характеристики: |
19 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr36100570000 | ||
005 | 20070810173434.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [90-24126а] |
100 | # | # | $a 20070810d1990 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Легирование слоев кремния в процессе низкотемпературной эпитаксии из молекулярного пучка $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского |
210 | # | # | $a Горький $d 1990 |
215 | # | # | $a 19 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 16-19 (17 назв.) |
686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Андреев $b А. Ю. $g Андрей Юрьевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070810 $g psbo |