Обеспечение заданных поверхностных свойств материалов электронной техники на базе импульсных процессов обработки жидкими реагентами и ионами: Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук в форме науч. докл.: (05.27.01) / АН СССР, Физ.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Альтудов, Ю. К. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
51 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr36024500000 | ||
| 005 | 20070808150403.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070808d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Обеспечение заданных поверхностных свойств материалов электронной техники на базе импульсных процессов обработки жидкими реагентами и ионами $e Дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук в форме науч. докл. $e (05.27.01) $f АН СССР, Физ.-технол. ин-т |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 51 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 46-51 (60 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Альтудов $b Ю. К. $g Юрий Камбулатович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |