|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr35926150000 |
| 005 |
20191203102122.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-36949]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070808d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Расчет и эксплуатация рециркуляционных контуров чистых производственных помещений
$e Материалы к 3-й науч.-техн. конф. «Экология микроэлектроники-90»
$f М. М. Алексович, В. И. Каракеян, А. С. Рябышенков
$g Моск. ин-т электрон. техники
$g Под ред. Ушакова В. И.
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 76 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 75 (5 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 360 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Чистые производственные помещения - Воздушный режим
|
| 610 |
0 |
# |
$a Воздух промышленных предприятий - Очистка
|
| 675 |
# |
# |
$a 628.8:54-483
|
| 700 |
# |
1 |
$a Алексович
$b М. М.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Каракеян
$b В. И.
$g Валерий Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Рябышенков
$b А. С.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070808
$g psbo
|
