Исследование центров захвата заряда в слоях термического окисла на кремнии: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / ЛГУ

Сохранено в:
Шифр документа: 91503/88,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Акулов, А. Ф.
Опубликовано: Л. , 1988
Физические характеристики: 17 с. : граф.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35812350000
005 20070808140449.0
021 # # $a RU  $b [89-48а] 
100 # # $a 20070808d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование центров захвата заряда в слоях термического окисла на кремнии  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f ЛГУ 
210 # # $a Л.  $d 1988 
215 # # $a 17 с.  $c граф. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17 (7 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Акулов  $b А. Ф.  $g Алексей Филиппович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070808  $g psbo