Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Акуленок, М. В. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35809490000 | ||
| 005 | 20070808140449.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070808d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка процесса формирования эпитаксиальных структур "кремний на диэлектрике" для совершенствования технологии СБИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Моск. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 16-17 (15 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Акуленок $b М. В. $g Марина Викторовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |