Разработка и исследование широкоапертурных источников ионов и плазмы металлов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.02) / Рос. АН, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточной электроники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Аксенов, А. И. |
Опубликовано: | Томск , 1992 |
Физические характеристики: |
17 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|