Информационно-измерительные системы на основе электронно-лучевого зондирования пучков заряженных частиц технологического и аналитического оборудования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.13.05) / Моск. ин-т электрон. машиностроения

Сохранено в:
Шифр документа: 109029/90СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Азаров, В. Н.
Опубликовано: М. , 1990
Физические характеристики: 34 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35716070000
005 20070808131950.0
100 # # $a 20070808d1990 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Информационно-измерительные системы на основе электронно-лучевого зондирования пучков заряженных частиц технологического и аналитического оборудования  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e (05.13.05)  $f Моск. ин-т электрон. машиностроения 
210 # # $a М.  $d 1990 
215 # # $a 34 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 31-34 (33 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.13.05  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Азаров  $b В. Н.  $g Владимир Николаевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070808  $g psbo