Информационно-измерительные системы на основе электронно-лучевого зондирования пучков заряженных частиц технологического и аналитического оборудования: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.13.05) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Азаров, В. Н. |
Опубликовано: | М. , 1990 |
Физические характеристики: |
34 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr35716070000 | ||
005 | 20070808131950.0 | ||
100 | # | # | $a 20070808d1990 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Информационно-измерительные системы на основе электронно-лучевого зондирования пучков заряженных частиц технологического и аналитического оборудования $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (05.13.05) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
210 | # | # | $a М. $d 1990 |
215 | # | # | $a 34 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 31-34 (33 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.13.05 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Азаров $b В. Н. $g Владимир Николаевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070808 $g psbo |