Разработка радиоволнового метода и средств многопараметрового технологического контроля полупроводниковых эпитаксиальных структур радиотехнических устройств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13) / Ленингр. ин-т авиац. приборостроения

Сохранено в:
Шифр документа: 175566/91,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Авгуцевич, Б. И.
Опубликовано: Л. , 1991
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35597900000
005 20140812161913.0
100 # # $a 20070808j|||||||||||y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Разработка радиоволнового метода и средств многопараметрового технологического контроля полупроводниковых эпитаксиальных структур радиотехнических устройств  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.13)  $f Ленингр. ин-т авиац. приборостроения 
210 # # $a Л.  $d 1991 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-18 (19 назв.) 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
686 # # $a 05.12.13  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Авгуцевич  $b Б. И.  $g Бронислав Иосифович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070808  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-rr35597900000&fileID=1287605