Плазиохимические процессы в технологии силовых полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Воронеж. гос. ун-т им. Лен. комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Есин, В. И. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1987 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35370030000 | ||
| 005 | 20070807145042.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070807d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Плазиохимические процессы в технологии силовых полупроводниковых приборов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Воронеж. гос. ун-т им. Лен. комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 18 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-18 (26 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Есин $b В. И. $g Владимир Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070807 $g psbo |