Получение ионных пучков из плазмы дугового разряда для имплантации металлов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.02) / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Ерохин, Г. П. |
| Publicado: | Томск , 1988 |
| Descripción Física: |
20 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||