Получение ионных пучков из плазмы дугового разряда для имплантации металлов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.02) / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники

Сохранено в:
Шифр документа: 53604/88СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ерохин, Г. П.
Опубликовано: Томск , 1988
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35342290000
005 20070807144227.0
100 # # $a 20070807d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Получение ионных пучков из плазмы дугового разряда для имплантации металлов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (05.27.02)  $f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т сильноточ. электроники 
210 # # $a Томск  $d 1988 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 16-18 (17 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.02  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Ерохин  $b Г. П.  $g Геннадий Петрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070807  $g psbo