Изучение процессов роста и легирования полупроводниковых пленок методом моделирования на ЭВМ: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.07)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ478845,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Дьяконова, В. И.
Опубликовано: Саранск , 1984
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr35101380000
005 20070802191907.0
100 # # $a 20070802d1984 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Изучение процессов роста и легирования полупроводниковых пленок методом моделирования на ЭВМ  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.07) 
210 # # $a Саранск  $d 1984 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: с. 17-19 (17 назв.) 
675 # # $a 539.219.3.22.23.001.57:681.3 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Дьяконова  $b В. И.  $g Валентина Ивановна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070802  $g psbo