Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии: (05.12.18): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Душенков, С. Д. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr35078740000 | ||
| 005 | 20070802191645.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [85-9732а] |
| 100 | # | # | $a 20070802d1985 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии $e (05.12.18) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук |
| 210 | # | # | $a М. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН СССР, Ин-т общ. физики. Билбиогр.: с. 19-21 (16 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Душенков $b С. Д. $g Сергей Дмитриевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070802 $g psbo |