Разработка и исследование алгоритмов и устройств распознавания дефектов топологии изделий микроэлектроники нелокальными методами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дубицкий, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34998950000 | ||
| 005 | 20070802185925.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070802d1984 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование алгоритмов и устройств распознавания дефектов топологии изделий микроэлектроники нелокальными методами $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.01) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 20-22 (17 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.13.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дубицкий $b В. И. $g Владимир Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070802 $g psbo |