Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Добрынин, А. В. |
Опубликовано: | М. , 1986 |
Физические характеристики: |
24 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|