Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Моск. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Добрынин, А. В. |
Опубликовано: | М. , 1986 |
Физические характеристики: |
24 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr34801000000 | ||
005 | 20070802151111.0 | ||
100 | # | # | $a 20070802d1986 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Моск. ин-т электрон. техники |
210 | # | # | $a М. $d 1986 |
215 | # | # | $a 24 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 22-24 (23 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Добрынин $b А. В. $g Андрей Витальевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070802 $g psbo |