Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 11088/86СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Добрынин, А. В.
Опубликовано: М. , 1986
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr34801000000
005 20070802151111.0
100 # # $a 20070802d1986 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.06)  $f Моск. ин-т электрон. техники 
210 # # $a М.  $d 1986 
215 # # $a 24 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 22-24 (23 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Добрынин  $b А. В.  $g Андрей Витальевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070802  $g psbo