Модификация морфологии и структуры поверхности при лазерной перекристаллизации слоев кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Демчук, А. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1988 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||