Модификация морфологии и структуры поверхности при лазерной перекристаллизации слоев кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН БССР, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Демчук, А. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1988 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34550730000 | ||
| 005 | 20070801163752.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070801d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 200 | 1 | # | $a Модификация морфологии и структуры поверхности при лазерной перекристаллизации слоев кремния $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.01) $f АН БССР, Ин-т электроники |
| 210 | # | # | $a Мн. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 17-20 (32 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Демчук $b А. В. $g Александр Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070801 $g psbo |