Исследование условий образования и некоторых свойств слоев нитридов и оксинитридов алюминия и галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.16.07)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ392907,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Демидов, Д. М.
Опубликовано: Л. , 1980
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr34526970000
005 20070801162944.0
100 # # $a 20070801d1980 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование условий образования и некоторых свойств слоев нитридов и оксинитридов алюминия и галлия  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.16.07) 
210 # # $a Л.  $d 1980 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a В надзаг.: Ленингр. политехн. ин-т им. М. И. Калинина 
686 # # $a 05.16.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Демидов  $b Д. М.  $g Дмитрий Михайлович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070801  $g psbo