Исследование нестабильности параметров кремниевых МДП-структур и ее связи с технологическими процессами: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.08) / Северо-Западный заоч. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дель Куэто, М. Э. |
| Опубликовано: | Л. , 1977 |
| Физические характеристики: |
10 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||