Исследование нестабильности параметров кремниевых МДП-структур и ее связи с технологическими процессами: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.08) / Северо-Западный заоч. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дель Куэто, М. Э. |
| Опубликовано: | Л. , 1977 |
| Физические характеристики: |
10 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34507110000 | ||
| 005 | 20070801162648.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070801d1977 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование нестабильности параметров кремниевых МДП-структур и ее связи с технологическими процессами $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.12.08) $f Северо-Западный заоч. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1977 |
| 215 | # | # | $a 10 с. |
| 300 | # | # | $a Перед загл. авт.: Магали Эстрада Дель Куэто |
| 686 | # | # | $a 05.12.08 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Дель Куэто $b М. Э. $g Магали Эстрада |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070801 $g psbo |