|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34393950000 |
| 005 |
20170601092055.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 40 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-26627]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергоатомиздат
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 262, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. корешка: Применение плазмы для травления и очистки. - Библиогр.: с. 252-260 (195 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 3500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Травление плазменное
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.794:533.9
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Киреев
$b В. Ю.
$g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
