|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34393930000 |
| 005 |
20070727174321.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 42 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [77-4473]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1977 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение тонкопленочных элементов микросхем
$f Б. С. Данилин
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1977
|
| 215 |
# |
# |
$a 136 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры
$v Вып. 10
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 128-134 (108 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 10000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микросхемы пленочные - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Получение - Применение вакуума
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
