Магнетронные распылительные системы

Сохранено в:
Шифр документа: АУ620029, М189337,
Вид документа: Книги
Автор: Данилин, Б. С.
Опубликовано: М. : Радио и связь , 1982
Физические характеристики: 73 с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr34393880000
005 20101122141857.0
010 # # $d 25 к. 
021 # # $a RU  $b [82-30868] 
100 # # $a 20070727d1982 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Магнетронные распылительные системы 
210 # # $a М.  $c Радио и связь  $d 1982 
215 # # $a 73 с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 69―72 (82 назв.) 
345 # # $9 3100 экз. 
610 0 # $a Пленки тонкие - Получение 
610 0 # $a Распылители магнетронные 
675 # # $a 621.315.592-416.002:621.793.7.06 
700 # 1 $a Данилин  $b Б. С.  $g Борис Степанович 
701 # 1 $a Сырчин  $b В. К.  $g Владимир Кимович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070727  $g psbo