Получение и электрофизические свойства реактивно распыленных пленок оксидов и нитридов кремния, алюминия, титана: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. кавд. физ.-мат. наук: (01.04.07)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Гурин, В. Н. |
| Publié: | Харьков , 1982 |
| Description matérielle: |
23 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||