Получение и электрофизические свойства реактивно распыленных пленок оксидов и нитридов кремния, алюминия, титана: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. кавд. физ.-мат. наук: (01.04.07)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Гурин, В. Н. |
| Published: | Харьков , 1982 |
| Physical Description: |
23 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||