|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34224640000 |
| 005 |
20211216110840.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение и электрофизические свойства реактивно распыленных пленок оксидов и нитридов кремния, алюминия, титана
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. кавд. физ.-мат. наук
$e (01.04.07)
|
| 210 |
# |
# |
$a Харьков
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Харьк. политехн. ин-т им. В. И. Ленина. Библиогр.: с. 22-23 (9, 5 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Гурин
$b В. Н.
$g Валерий Николаевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
