Исследование и разработка оптических систем для установок фотолитографии: (05.11.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гуревич, Э. С. |
| Опубликовано: | Л. , 1979 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34220140000 | ||
| 005 | 20070727163719.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [79-15861а] |
| 100 | # | # | $a 20070727d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка оптических систем для установок фотолитографии $e (05.11.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. ин-т точной механики и оптики. Библиогр.: с. 19-20 (14 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.11.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Гуревич $b Э. С. $g Элла Семеновна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |