Исследования в области получения высокоомных монокристаллов кремния, легированных фосфором в атмосфере очищенного водорода: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-техн. и мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гулямов, М. М. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1973 |
| Физические характеристики: |
26 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||