Исследования в области получения высокоомных монокристаллов кремния, легированных фосфором в атмосфере очищенного водорода: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-техн. и мат. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гулямов, М. М. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1973 |
| Физические характеристики: |
26 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34183700000 | ||
| 005 | 20070727154809.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-3190а] |
| 100 | # | # | $a 20070727d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Исследования в области получения высокоомных монокристаллов кремния, легированных фосфором в атмосфере очищенного водорода $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f АН УзССР. Объедин. учен. совет по физике Отд-ния физ.-техн. и мат. наук |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 26 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 25-26 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Гулямов $b М. М. $g Марат Манапович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |