|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr34053170000 |
| 005 |
20140214131536.2 |
| 010 |
# |
# |
$d 5 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-95541]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070727d1985 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионное легирование в микроэлектронике
$e [Учеб. пособие для сред. ПТУ]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Высш. шк.
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 48 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Проф.-техн. образование
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 47-48 (9 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 5000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство - Учебники и пособия
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Легирование ионное - Учебники и пособия
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(075.32)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Грищенко
$b А. Ф.
$g Анатолий Федорович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070727
$g psbo
|
