Разработка и исследование методов автоматического анализа дефектов топологии фотошаблонов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.13.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гришин, М. П. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34046310000 | ||
| 005 | 20070727152050.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070727d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование методов автоматического анализа дефектов топологии фотошаблонов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.13.01) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. пром-сти. Библиогр.: с. 23 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Гришин $b М. П. $g Михаил Петрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |