Некоторые вопросы взаимодействия ионизированных газов с поверхностью кремния: Автореф. дис. на соискание учен. степени канд. техн. наук: (298) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грицюс, А. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1972 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||